截至2025年11月18日13:41，中证半导体产业指数(931865)强势上涨2.46%，成分股京仪装备(688652)上涨8.39%，北方华创(002371)上涨6.59%，中微公司(688012)上涨3.96%，拓荆科技(688072)，芯源微(688037)等个股跟涨。半导体设备ETF(561980)上涨2.38%，最新价报1.94元。拉长时间看，截至2025年11月17日，半导体设备ETF近1月累计上涨1.28%。
流动性方面，半导体设备ETF盘中换手8.44%，成交2.22亿元。拉长时间看，截至11月17日，半导体设备ETF近1月日均成交2.39亿元。
规模方面，半导体设备ETF近3月规模增长17.00亿元，实现显著增长，新增规模位居可比基金1/2。
份额方面，半导体设备ETF近1周份额增长2900.00万份，实现显著增长，新增份额位居可比基金1/2。
从资金净流入方面来看，半导体设备ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日获得4779.46万元净流入，合计“吸金”6535.78万元，日均净流入达2178.59万元。
数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF前一交易日融资净买额达946.95万元，最新融资余额达9620.90万元。
截至11月17日，半导体设备ETF近2年净值上涨78.49%，指数股票型基金排名89/2408，居于前3.70%。从收益能力看，截至2025年11月17日，半导体设备ETF自成立以来，最高单月回报为24.91%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为68.32%，涨跌月数比为14/12，上涨月份平均收益率为10.89%，年盈利百分比为100.00%，历史持有2年盈利概率为100.00%。截至2025年11月17日，半导体设备ETF近2年超越基准年化收益为1.44%。
截至2025年11月14日，半导体设备ETF成立以来夏普比率为1.09。
回撤方面，截至2025年11月17日，半导体设备ETF近半年相对基准回撤0.70%，在可比基金中回撤最小。回撤后修复天数为14天。
费率方面，半导体设备ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2025年11月17日，半导体设备ETF近1月跟踪误差为0.014%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF紧密跟踪中证半导体产业指数，中证半导体产业指数从上市公司中，选取不超过40只业务涉及半导体材料、设备和应用等相关领域的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体核心产业上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2025年10月31日，中证半导体产业指数(931865)前十大权重股分别为中微公司(688012)、北方华创(002371)、寒武纪(688256)、中芯国际(688981)、海光信息(688041)、拓荆科技(688072)、长川科技(300604)、华海清科(688120)、南大光电(300346)、中科飞测(688361)，前十大权重股合计占比78.04%。
半导体设备ETF(561980)，场外联接(招商中证半导体产业ETF发起式联接A：020464；招商中证半导体产业ETF发起式联接C：020465)。
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