普达特科技有限公司宣布其半导体设备业务取得新进展,公司已收到来自两家高质量半导体客户对12英寸单晶圆清洗设备OCTOPUS的采购订单。其中一家12英寸晶圆代工厂将采购两台OCTOPUS设备,用于28nm制程的关键清洗道次;另一家12英寸高性能模拟与功率器件晶圆厂将采购一台OCTOPUS设备及一台6至12英寸单晶圆清洗设备CUBE。
除上述订单外,公司近期还新增三台CUBE设备的订单,均来自功率器件客户,其中一台已完成交付。公司自主研发的OCTOPUS设备对标国际龙头设备供应商,应用于12英寸晶圆规模化产线,覆盖Solvent、RCA、背面清洗等半导体清洗主要工艺。该设备标配16腔或8腔,通过化学供液系统和工艺腔室的集成化设计,可实现更高产能、更灵活工艺配置与更低成本。
该设备前期已获得多个客户订单并成功通过验收。公司表示将继续致力于完成设备订单交付与验收工作,充分发挥技术团队在半导体湿法技术方面的优势,扩大高质量半导体客户在关键应用领域对公司设备的采用。此次样机订单项下交易不构成上市规则下的须予公布交易,相关收入尚未确认。
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