截至2025年11月18日13:41，中證半導體產業指數(931865)強勢上漲2.46%，成分股京儀裝備(688652)上漲8.39%，北方華創(002371)上漲6.59%，中微公司(688012)上漲3.96%，拓荊科技(688072)，芯源微(688037)等個股跟漲。半導體設備ETF(561980)上漲2.38%，最新價報1.94元。拉長時間看，截至2025年11月17日，半導體設備ETF近1月累計上漲1.28%。
流動性方面，半導體設備ETF盤中換手8.44%，成交2.22億元。拉長時間看，截至11月17日，半導體設備ETF近1月日均成交2.39億元。
規模方面，半導體設備ETF近3月規模增長17.00億元，實現顯著增長，新增規模位居可比基金1/2。
份額方面，半導體設備ETF近1周份額增長2900.00萬份，實現顯著增長，新增份額位居可比基金1/2。
從資金凈流入方面來看，半導體設備ETF近3天獲得連續資金凈流入，最高單日獲得4779.46萬元凈流入，合計“吸金”6535.78萬元，日均凈流入達2178.59萬元。
數據顯示，杠桿資金持續佈局中。半導體設備ETF前壹交易日融資凈買額達946.95萬元，最新融資余額達9620.90萬元。
截至11月17日，半導體設備ETF近2年凈值上漲78.49%，指數股票型基金排名89/2408，居於前3.70%。從收益能力看，截至2025年11月17日，半導體設備ETF自成立以來，最高單月回報為24.91%，最長連漲月數為4個月，最長連漲漲幅為68.32%，漲跌月數比為14/12，上漲月份平均收益率為10.89%，年盈利百分比為100.00%，歷史持有2年盈利概率為100.00%。截至2025年11月17日，半導體設備ETF近2年超越基準年化收益為1.44%。
截至2025年11月14日，半導體設備ETF成立以來夏普比率為1.09。
回撤方面，截至2025年11月17日，半導體設備ETF近半年相對基準回撤0.70%，在可比基金中回撤最小。回撤後修復天數為14天。
費率方面，半導體設備ETF管理費率為0.50%，托管費率為0.10%，費率在可比基金中最低。
跟蹤精度方面，截至2025年11月17日，半導體設備ETF近1月跟蹤誤差為0.014%，在可比基金中跟蹤精度最高。
半導體設備ETF緊密跟蹤中證半導體產業指數，中證半導體產業指數從上市公司中，選取不超過40只業務涉及半導體材料、設備和應用等相關領域的上市公司證券作為指數樣本，以反映半導體核心產業上市公司證券的整體表現。
數據顯示，截至2025年10月31日，中證半導體產業指數(931865)前十大權重股分別為中微公司(688012)、北方華創(002371)、寒武紀(688256)、中芯國際(688981)、海光信息(688041)、拓荊科技(688072)、長川科技(300604)、華海清科(688120)、南大光電(300346)、中科飛測(688361)，前十大權重股合計佔比78.04%。
半導體設備ETF(561980)，場外聯接(招商中證半導體產業ETF發起式聯接A：020464；招商中證半導體產業ETF發起式聯接C：020465)。
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