新時空訊，截至2026年1月16日10:37，中證半導體產業指數(931865)強勢上漲3.09%，成分股天嶽先進上漲16.54%，康強電子上漲10.02%，中科飛測上漲8.80%，芯源微，珂瑪科技等個股跟漲。半導體設備ETF(561980)上漲2.53%， 沖擊3連漲。最新價報2.51元。拉長時間看，截至2026年1月15日，半導體設備ETF近1周累計上漲4.39%，漲幅排名可比基金1/2。（以上所列股票僅為指數成份股，無特定推薦之意）
流動性方面，半導體設備ETF盤中換手10.93%，成交3.61億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至1月15日，半導體設備ETF近1周日均成交3.59億元。
規模方面，半導體設備ETF最新規模達32.15億元，創近1年新高，位居可比基金1/2。（數據來源：Wind）
份額方面，半導體設備ETF最新份額達13.19億份，創近1月新高，位居可比基金1/2。（數據來源：Wind）
資金流入方面，半導體設備ETF最新資金凈流入7625.81萬元。拉長時間看，近5個交易日內有3日資金凈流入，合計“吸金”1.85億元，日均凈流入達3699.49萬元。（數據來源：Wind）
數據顯示，杠桿資金持續佈局中。半導體設備ETF本月以來融資凈買額達182.15萬元，最新融資余額達1.23億元。（數據來源：Wind）
截至1月15日，半導體設備ETF近2年凈值上漲178.50%，指數股票型基金排名12/2510，居於前0.48%。從收益能力看，截至2026年1月15日，半導體設備ETF自成立以來，最高單月回報為24.91%，最長連漲月數為4個月，最長連漲漲幅為68.32%，漲跌月數比為15/13，上漲月份平均收益率為10.72%，年盈利百分比為100.00%，歷史持有2年盈利概率為100.00%。截至2026年1月15日，半導體設備ETF成立以來超越基準年化收益為0.92%。
截至2026年1月9日，半導體設備ETF近1年夏普比率為2.00，排名可比基金1/2，同等風險下收益最高。
回撤方面，截至2026年1月15日，半導體設備ETF今年以來最大回撤3.47%，相對基準回撤0.07%，在可比基金中回撤最小。回撤後修復天數為2天。
費率方面，半導體設備ETF管理費率為0.50%，托管費率為0.10%，費率在可比基金中最低。
跟蹤精度方面，截至2026年1月15日，半導體設備ETF今年以來跟蹤誤差為0.016%，在可比基金中跟蹤精度最高。
半導體設備ETF緊密跟蹤中證半導體產業指數，中證半導體產業指數從上市公司中，選取不超過40只業務涉及半導體材料、設備和應用等相關領域的上市公司證券作為指數樣本，以反映半導體核心產業上市公司證券的整體表現。
數據顯示，截至2025年12月31日，中證半導體產業指數(931865)前十大權重股分別為北方華創、中微公司、寒武紀、中芯國際、海光信息、拓荊科技、長川科技、華海清科、中科飛測、南大光電，前十大權重股合計佔比76.68%。（以上所列股票僅為指數成份股，無特定推薦之意）
東莞證券表示，隨著DRAM、NAND架構向3D化方向發展，會顯著提升刻蝕、薄膜沈積設備相關需求。其中，3D化驅動DRAM和NAND所對應的設備可服務市場大致為原來的1.7倍和1.8倍，內資半導體設備企業有望逐步做大做強。
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