新時空訊：截至2026年2月13日13:16，中證半導體產業指數(931865)強勢上漲1.78%，成分股富創精密上漲13.40%，京儀裝備上漲7.40%，中巨芯上漲6.41%，華海誠科，珂瑪科技等個股跟漲。半導體設備ETF(561980)上漲1.79%，最新價報2.34元。拉長時間看，截至2026年2月12日，半導體設備ETF近1周累計上漲1.55%。（以上所列股票僅爲指數成份股，無特定推薦之意）
流動性方面，半導體設備ETF盤中換手4.03%，成交1.44億元。拉長時間看，截至2月12日，半導體設備ETF近1月日均成交2.81億元。
規模方面，半導體設備ETF近1周規模增長5572.64萬元，實現顯著增長，新增規模位居可比基金1/2。（數據來源：Wind）
份額方面，半導體設備ETF近1月份額增長2.31億份，實現顯著增長，新增份額位居可比基金1/2。（數據來源：Wind）
資金流入方面，半導體設備ETF最新資金淨流入457.86萬元。拉長時間看，近23個交易日內有13日資金淨流入，合計“吸金”5.50億元，日均淨流入達2391.91萬元。（數據來源：Wind）
數據顯示，槓杆資金持續布局中。半導體設備ETF最新融資買入額達1128.34萬元，最新融資餘額達1.09億元。（數據來源：Wind）
截至2月12日，半導體設備ETF近2年淨值上漲173.84%，指數股票型基金排名19/2559，居於前0.74%。從收益能力看，截至2026年2月12日，半導體設備ETF自成立以來，最高單月回報爲24.91%，最長連漲月數爲4個月，最長連漲漲幅爲68.32%，漲跌月數比爲16/13，上漲月份平均收益率爲11.02%，年盈利百分比爲100.00%，歷史持有2年盈利概率爲100.00%。截至2026年2月12日，半導體設備ETF成立以來超越基準年化收益爲0.84%。
截至2026年2月6日，半導體設備ETF近1年夏普比率爲1.79，排名可比基金1/2，同等風險下收益最高。
回撤方面，截至2026年2月12日，半導體設備ETF今年以來相對基準回撤0.14%，在可比基金中回撤最小。
費率方面，半導體設備ETF管理費率爲0.50%，託管費率爲0.10%，費率在可比基金中最低。
跟蹤精度方面，截至2026年2月12日，半導體設備ETF近1月跟蹤誤差爲0.018%，在可比基金中跟蹤精度最高。
半導體設備ETF緊密跟蹤中證半導體產業指數，中證半導體產業指數從上市公司中，選取不超過40只業務涉及半導體材料、設備和應用等相關領域的上市公司證券作爲指數樣本，以反映半導體核心產業上市公司證券的整體表現。
數據顯示，截至2026年1月30日，中證半導體產業指數(931865)前十大權重股分別爲中微公司、北方華創、寒武紀、中芯國際、海光信息、拓荊科技、長川科技、華海清科、中科飛測、南大光電，前十大權重股合計佔比74.72%。（以上所列股票僅爲指數成份股，無特定推薦之意）
大公國際資信評估表示，近年來我國出臺一系列專項支持政策，爲半導體材料產業發展提供堅實支撐，形成全方位賦能體系，通過明確戰略方向、布局中試平臺、實施保險補償等舉措，推動產業高質量發展。受半導體產業景氣周期、終端需求迭代等因素影響，全球半導體材料市場規模呈現“長期增長、周期波動”的特徵，區域版圖正隨產業鏈轉移與國產化浪潮加速重構。
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