截至2026年1月7日10:49，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨6.28%，成分股芯源微(688037)上涨20.00%，南大光电(300346)上涨16.33%，安集科技(688019)上涨15.15%，珂玛科技(301611)，晶瑞电材(300655)等个股跟涨。半导体设备材料ETF(159516)上涨6.14%， 冲击3连涨。最新价报1.8元。拉长时间看，截至2026年1月6日，半导体设备材料ETF近2周累计上涨7.29%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备材料ETF盘中换手10.45%，成交11.45亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至1月6日，半导体设备材料ETF近1周日均成交12.25亿元，排名可比基金第一。
规模方面，半导体设备材料ETF最新规模达104.59亿元，创近1年新高，位居可比基金1/5。（数据来源：Wind）
份额方面，半导体设备材料ETF最新份额达61.88亿份，创近1年新高，位居可比基金1/5。（数据来源：Wind）
从资金净流入方面来看，半导体设备材料ETF近9天获得连续资金净流入，最高单日获得2.84亿元净流入，合计“吸金”17.93亿元，日均净流入达1.99亿元。（数据来源：Wind）
数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备材料ETF前一交易日融资净买额达2414.00万元，最新融资余额达5.22亿元。（数据来源：Wind）
截至1月6日，半导体设备材料ETF近2年净值上涨97.63%，指数股票型基金排名234/2501，居于前9.36%。从收益能力看，截至2026年1月6日，半导体设备材料ETF自成立以来，最高单月回报为25.44%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为57.08%，上涨月份平均收益率为9.92%，年盈利百分比为100.00%，历史持有2年盈利概率为100.00%。截至2026年1月6日，半导体设备材料ETF成立以来超越基准年化收益为1.68%。
截至2025年12月31日，半导体设备材料ETF近1年夏普比率为1.34。
回撤方面，截至2026年1月6日，半导体设备材料ETF今年以来最大回撤0.00%，相对基准回撤0.02%。
费率方面，半导体设备材料ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2026年1月6日，半导体设备材料ETF近2年跟踪误差为0.026%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备材料ETF紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2025年12月31日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为北方华创(002371)、中微公司(688012)、拓荆科技(688072)、长川科技(300604)、沪硅产业(688126)、华海清科(688120)、中科飞测(688361)、南大光电(300346)、安集科技(688019)、芯源微(688037)，前十大权重股合计占比65.08%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
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