新时空讯，截至2026年1月15日13:43，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.53%，成分股矽电股份上涨13.50%，上海新阳上涨12.71%，康强电子上涨10.03%，三佳科技，芯源微等个股跟涨。半导体设备材料ETF(159516)上涨3.43%，最新价报1.87元。拉长时间看，截至2026年1月14日，半导体设备材料ETF近2周累计上涨16.98%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备材料ETF盘中换手11.13%，成交15.28亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至1月14日，半导体设备材料ETF近1周日均成交18.99亿元，居可比基金第一。
规模方面，半导体设备材料ETF近1周规模增长16.76亿元，实现显著增长，新增规模位居可比基金1/5。（数据来源：Wind）
份额方面，半导体设备材料ETF近1周份额增长9.37亿份，实现显著增长，新增份额位居可比基金2/5。（数据来源：Wind）
资金流入方面，半导体设备材料ETF最新资金净流出9750.58万元。拉长时间看，近5个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”20.30亿元，日均净流入达4.06亿元。（数据来源：Wind）
数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备材料ETF最新融资买入额达1.42亿元，最新融资余额达5.56亿元。（数据来源：Wind）
截至1月14日，半导体设备材料ETF近2年净值上涨117.52%，指数股票型基金排名144/2510，居于前5.74%。从收益能力看，截至2026年1月14日，半导体设备材料ETF自成立以来，最高单月回报为25.44%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为57.08%，上涨月份平均收益率为9.92%，年盈利百分比为100.00%，历史持有2年盈利概率为100.00%。截至2026年1月14日，半导体设备材料ETF成立以来超越基准年化收益为1.70%。
截至2026年1月9日，半导体设备材料ETF近1年夏普比率为1.98。
回撤方面，截至2026年1月14日，半导体设备材料ETF今年以来最大回撤3.20%，相对基准回撤0.04%，在可比基金中回撤风险较低。
费率方面，半导体设备材料ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2026年1月14日，半导体设备材料ETF近2年跟踪误差为0.027%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备材料ETF紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2025年12月31日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，前十大权重股合计占比65.08%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
国金证券表示，半导体设备是半导体产业链的基石，存储扩产与自主可控共振，国产替代空间广阔。半导体设备位于产业链上游，是支撑芯片制造与封测的核心产业。随着AI大模型驱动存储技术向3D化演进，国内存储大厂扩产项目落地，国产半导体设备产业链有望迎来新一轮高速增长机遇。
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