新時空訊，截至2026年1月15日13:43，中證半導體材料設備主題指數(931743)強勢上漲3.53%，成分股矽電股份上漲13.50%，上海新陽上漲12.71%，康強電子上漲10.03%，三佳科技，芯源微等個股跟漲。半導體設備材料ETF(159516)上漲3.43%，最新價報1.87元。拉長時間看，截至2026年1月14日，半導體設備材料ETF近2周累計上漲16.98%。（以上所列股票僅為指數成份股，無特定推薦之意）
流動性方面，半導體設備材料ETF盤中換手11.13%，成交15.28億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至1月14日，半導體設備材料ETF近1周日均成交18.99億元，居可比基金第壹。
規模方面，半導體設備材料ETF近1周規模增長16.76億元，實現顯著增長，新增規模位居可比基金1/5。（數據來源：Wind）
份額方面，半導體設備材料ETF近1周份額增長9.37億份，實現顯著增長，新增份額位居可比基金2/5。（數據來源：Wind）
資金流入方面，半導體設備材料ETF最新資金凈流出9750.58萬元。拉長時間看，近5個交易日內有3日資金凈流入，合計“吸金”20.30億元，日均凈流入達4.06億元。（數據來源：Wind）
數據顯示，杠桿資金持續佈局中。半導體設備材料ETF最新融資買入額達1.42億元，最新融資余額達5.56億元。（數據來源：Wind）
截至1月14日，半導體設備材料ETF近2年凈值上漲117.52%，指數股票型基金排名144/2510，居於前5.74%。從收益能力看，截至2026年1月14日，半導體設備材料ETF自成立以來，最高單月回報為25.44%，最長連漲月數為4個月，最長連漲漲幅為57.08%，上漲月份平均收益率為9.92%，年盈利百分比為100.00%，歷史持有2年盈利概率為100.00%。截至2026年1月14日，半導體設備材料ETF成立以來超越基準年化收益為1.70%。
截至2026年1月9日，半導體設備材料ETF近1年夏普比率為1.98。
回撤方面，截至2026年1月14日，半導體設備材料ETF今年以來最大回撤3.20%，相對基準回撤0.04%，在可比基金中回撤風險較低。
費率方面，半導體設備材料ETF管理費率為0.50%，托管費率為0.10%，費率在可比基金中最低。
跟蹤精度方面，截至2026年1月14日，半導體設備材料ETF近2年跟蹤誤差為0.027%，在可比基金中跟蹤精度最高。
半導體設備材料ETF緊密跟蹤中證半導體材料設備主題指數，中證半導體材料設備主題指數選取40只業務涉及半導體材料和半導體設備等領域的上市公司證券作為指數樣本，反映半導體材料和設備上市公司證券的整體表現。
數據顯示，截至2025年12月31日，中證半導體材料設備主題指數(931743)前十大權重股分別為北方華創、中微公司、拓荊科技、長川科技、滬矽產業、華海清科、中科飛測、南大光電、安集科技、芯源微，前十大權重股合計佔比65.08%。（以上所列股票僅為指數成份股，無特定推薦之意）
國金證券表示，半導體設備是半導體產業鏈的基石，存儲擴產與自主可控共振，國產替代空間廣闊。半導體設備位於產業鏈上遊，是支撐晶片制造與封測的核心產業。隨著AI大模型驅動存儲技術向3D化演進，國內存儲大廠擴產項目落地，國產半導體設備產業鏈有望迎來新壹輪高速增長機遇。
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