新时空讯，截至2026年3月5日09:52，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.20%，成分股中晶科技上涨6.11%，联动科技上涨5.36%，富创精密上涨4.98%，拓荆科技，金海通等个股跟涨。半导体设备ETF广发(560780)上涨3.09%，最新价报2元。拉长时间看，截至2026年3月4日，半导体设备ETF广发近3月累计上涨21.55%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备ETF广发盘中换手1.68%，成交6085.75万元。拉长时间看，截至3月4日，半导体设备ETF广发近1周日均成交2.43亿元。
规模方面，半导体设备ETF广发最新规模达35.43亿元。（数据来源：Wind）
从资金净流入方面来看，半导体设备ETF广发近3天获得连续资金净流入，最高单日获得1.15亿元净流入，合计“吸金”2.00亿元，日均净流入达6671.82万元。（数据来源：Wind）
数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF广发最新融资买入额达573.40万元，最新融资余额达5415.40万元。（数据来源：Wind）
截至3月4日，半导体设备ETF广发近2年净值上涨108.14%，排名可比基金第一，指数股票型基金排名108/2568，居于前4.21%。从收益能力看，截至2026年3月4日，半导体设备ETF广发自成立以来，最高单月回报为25.53%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为57.57%，涨跌月数比为15/11，上涨月份平均收益率为10.57%，年盈利百分比为100.00%，历史持有2年盈利概率为100.00%。截至2026年3月4日，半导体设备ETF广发成立以来超越基准年化收益为3.36%。
截至2026年2月27日，半导体设备ETF广发近1年夏普比率为1.75，排名可比基金1/5，同等风险下收益最高。
回撤方面，截至2026年3月4日，半导体设备ETF广发今年以来相对基准回撤0.11%，在可比基金中回撤最小。
费率方面，半导体设备ETF广发管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2026年3月4日，半导体设备ETF广发近1月跟踪误差为0.010%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF广发紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年2月27日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、芯源微、江丰电子，前十大权重股合计占比63.83%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
东吴证券指出，AI算力需求爆发驱动先进逻辑与存储芯片进入新一轮扩产周期。全球半导体设备市场规模持续创新高，中国大陆作为全球最大设备需求市场，连续四年蝉联榜首。在外部制裁强化、内部政策支持的背景下，半导体设备国产替代进入加速阶段，设备商国产化迎来新机遇。
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