新时空讯：截至2026年3月30日13:07，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨2.33%，成分股金海通上涨10.00%，富创精密上涨7.13%，华峰测控上涨5.78%，艾森股份，华海清科等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨2.41%，最新价报1.79元。拉长时间看，截至2026年3月27日，半导体设备ETF华夏近3月累计上涨7.39%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手2.49%，成交6160.16万元。拉长时间看，截至3月27日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交1.20亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达24.83亿元。（数据来源：Wind）
资金流入方面，半导体设备ETF华夏最新资金净流出517.52万元。拉长时间看，近20个交易日内有11日资金净流入，合计“吸金”1.78亿元，日均净流入达888.75万元。（数据来源：Wind）
数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF华夏前一交易日融资净买额达231.68万元，最新融资余额达2292.42万元。（数据来源：Wind）
截至3月27日，半导体设备ETF华夏近2年净值上涨99.87%，指数股票型基金排名132/2631，居于前5.02%。从收益能力看，截至2026年3月27日，半导体设备ETF华夏自成立以来，最高单月回报为25.40%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为56.99%，涨跌月数比为15/13，上涨月份平均收益率为10.56%，年盈利百分比为100.00%，历史持有2年盈利概率为100.00%。
截至2026年3月27日，半导体设备ETF华夏近1年夏普比率为1.51。
回撤方面，截至2026年3月27日，半导体设备ETF华夏今年以来相对基准回撤0.15%，在可比基金中回撤风险较低。
费率方面，半导体设备ETF华夏管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2026年3月27日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.011%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF华夏紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年2月27日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、芯源微、江丰电子，前十大权重股合计占比63.83%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
东吴证券表示，2026年3月25-27日SEMICON展会期间多家龙头设备商推出重磅新品与技术升级方案。看好设备商平台化布局加速。
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