新时空讯，截至2026年5月7日13:47，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.79%，成分股广立微上涨6.55%，华海诚科上涨6.08%，联动科技上涨5.49%，立昂微，矽电股份等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨1.99%， 冲击3连涨。最新价报2.2元。拉长时间看，截至2026年5月6日，半导体设备ETF华夏近2周累计上涨11.28%，涨幅排名可比基金2/5。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手9.72%，成交2.86亿元。拉长时间看，截至5月6日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交1.90亿元。
规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达29.22亿元，创近3月新高。（数据来源：Wind）
数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF华夏最新融资买入额达716.58万元，最新融资余额达2648.89万元。（数据来源：Wind）
截至5月6日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨38.90%，排名可比基金前2，指数股票型基金排名61/4595，居于前1.33%。从收益能力看，截至2026年5月6日，半导体设备ETF华夏自成立以来，最高单月回报为25.40%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为56.99%，涨跌月数比为16/14，上涨月份平均收益率为11.34%，年盈利百分比为100.00%，历史持有2年盈利概率为100.00%。截至2026年5月6日，半导体设备ETF华夏近3个月超越基准年化收益为0.19%，排名可比基金前2/5。
截至2026年4月30日，半导体设备ETF华夏近1年夏普比率为2.06。
回撤方面，截至2026年5月6日，半导体设备ETF华夏今年以来相对基准回撤0.15%，在可比基金中回撤最小。回撤后修复天数为38天，在可比基金中回撤后修复较快。
费率方面，半导体设备ETF华夏管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2026年5月6日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备ETF华夏紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年4月30日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、沪硅产业、江丰电子、芯源微、南大光电，前十大权重股合计占比65.46%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）
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