新時空訊，截至2026年5月7日13:47，中證半導體材料設備主題指數(931743)強勢上漲1.79%，成分股廣立微上漲6.55%，華海誠科上漲6.08%，聯動科技上漲5.49%，立昂微，矽電股份等個股跟漲。半導體設備ETF華夏(562590)上漲1.99%， 衝擊3連漲。最新價報2.2元。拉長時間看，截至2026年5月6日，半導體設備ETF華夏近2周累計上漲11.28%，漲幅排名可比基金2/5。（以上所列股票僅爲指數成份股，無特定推薦之意）
流動性方面，半導體設備ETF華夏盤中換手9.72%，成交2.86億元。拉長時間看，截至5月6日，半導體設備ETF華夏近1月日均成交1.90億元。
規模方面，半導體設備ETF華夏最新規模達29.22億元，創近3月新高。（數據來源：Wind）
數據顯示，槓杆資金持續布局中。半導體設備ETF華夏最新融資買入額達716.58萬元，最新融資餘額達2648.89萬元。（數據來源：Wind）
截至5月6日，半導體設備ETF華夏近6月淨值上漲38.90%，排名可比基金前2，指數股票型基金排名61/4595，居於前1.33%。從收益能力看，截至2026年5月6日，半導體設備ETF華夏自成立以來，最高單月回報爲25.40%，最長連漲月數爲4個月，最長連漲漲幅爲56.99%，漲跌月數比爲16/14，上漲月份平均收益率爲11.34%，年盈利百分比爲100.00%，歷史持有2年盈利概率爲100.00%。截至2026年5月6日，半導體設備ETF華夏近3個月超越基準年化收益爲0.19%，排名可比基金前2/5。
截至2026年4月30日，半導體設備ETF華夏近1年夏普比率爲2.06。
回撤方面，截至2026年5月6日，半導體設備ETF華夏今年以來相對基準回撤0.15%，在可比基金中回撤最小。回撤後修復天數爲38天，在可比基金中回撤後修復較快。
費率方面，半導體設備ETF華夏管理費率爲0.50%，託管費率爲0.10%，費率在可比基金中最低。
跟蹤精度方面，截至2026年5月6日，半導體設備ETF華夏今年以來跟蹤誤差爲0.013%，在可比基金中跟蹤精度最高。
半導體設備ETF華夏緊密跟蹤中證半導體材料設備主題指數，中證半導體材料設備主題指數選取40只業務涉及半導體材料和半導體設備等領域的上市公司證券作爲指數樣本，反映半導體材料和設備上市公司證券的整體表現。
數據顯示，截至2026年4月30日，中證半導體材料設備主題指數(931743)前十大權重股分別爲中微公司、北方華創、長川科技、拓荊科技、華海清科、中科飛測、滬硅產業、江豐電子、芯源微、南大光電，前十大權重股合計佔比65.46%。（以上所列股票僅爲指數成份股，無特定推薦之意）
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