截至2025年11月24日14:26，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨2.50%，成分股神工股份(688233)上涨7.99%，北方华创(002371)上涨7.59%，天岳先进(688234)上涨5.26%，晶瑞电材(300655)，南大光电(300346)等个股跟涨。半导体设备材料ETF(159516)上涨2.43%，最新价报1.39元。拉长时间看，截至2025年11月21日，半导体设备材料ETF近3月累计上涨9.35%。
流动性方面，半导体设备材料ETF盘中换手6.24%，成交3.92亿元。拉长时间看，截至11月21日，半导体设备材料ETF近1月日均成交6.32亿元，居可比基金第一。
规模方面，半导体设备材料ETF最新规模达62.08亿元，位居可比基金1/5。
份额方面，半导体设备材料ETF近1周份额增长2.00亿份，实现显著增长，新增份额位居可比基金1/5。
从资金净流入方面来看，半导体设备材料ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日获得2.46亿元净流入，合计“吸金”3.55亿元，日均净流入达1.18亿元。
数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备材料ETF最新融资买入额达3578.04万元，最新融资余额达2.81亿元。
截至11月21日，半导体设备材料ETF近2年净值上涨40.33%。从收益能力看，截至2025年11月21日，半导体设备材料ETF自成立以来，最高单月回报为25.44%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为57.08%，上涨月份平均收益率为9.98%，年盈利百分比为100.00%，历史持有2年盈利概率为100.00%。截至2025年11月21日，半导体设备材料ETF成立以来超越基准年化收益为1.75%。
回撤方面，截至2025年11月21日，半导体设备材料ETF今年以来相对基准回撤0.30%，在可比基金中回撤风险较低。
费率方面，半导体设备材料ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
跟踪精度方面，截至2025年11月21日，半导体设备材料ETF近2年跟踪误差为0.024%，在可比基金中跟踪精度最高。
半导体设备材料ETF紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2025年10月31日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司(688012)、北方华创(002371)、拓荆科技(688072)、沪硅产业(688126)、长川科技(300604)、华海清科(688120)、南大光电(300346)、中科飞测(688361)、安集科技(688019)、雅克科技(002409)，前十大权重股合计占比63.78%。
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